제품소개 : Glass & Cassette Transfer System

Glass & Cassette Transfer System

由于Glass需要水平运送装置，采用非接触驱动方式的装置，避免了噪音和粉尘，上部则安装了Clean
Tunnel 和FFU，用来维持Conveyor内部的清洁度。这是系统上位通讯和联动的控制投放和排放的系统。