제품소개 : Foub Stocker, Pod（前工程）

Foub Stocker, Pod（前工程）

SMIF(Standard Mechanical Interface, SEMI E15.1)环境下，运送并储存可互换的Carrier (POD,FOUP)，是一种具有Sorting功能的自动储存仓库系统，
构成中央部位的移送Robot、负责各Carrier的Loading / Unloading功能的Port部以及保管Carrier的Shelf Frame部