AMHS-Foup Stocker
반도체 Clean Room내의 천장에 설치된 Rail을 따라 Vehicle이 이동하며 300mm Wafer를 담은 Cassette (FOUP)를 제조공정 간 반송하는 무인 자동반송 System
반도체장비
AMHS-Foup Stocker
반도체 Clean Room내의 천장에 설치된 Rail을 따라 Vehicle이 이동하며 300mm Wafer를 담은 Cassette (FOUP)를 제조공정 간 반송하는 무인 자동반송 System
